产品介绍：
Magna 麦格纳系列
Magna系列是世界上第一个真正应用在PCB（印刷电路板）生产中的环保等离子刻蚀系统。Magna完全不使用目前的PCB製造过程中等离子蚀刻除胶渣和回蚀中的CF4气体。
Magna的革命性的技术提供更快的刻蚀速度、更低的营运成本、更低电功耗、及极佳的处理均匀度。Magna可以同时兼顾客户利益和环保，是真正的绿色过程。
技术规格表
专利的旋转木马方式装载8个基片（19“X28”）
先进的电极设计不需要CF4反应气体
电极温度控制，100-300F （38-149摄氏度）包含闭环反馈
泵/风机组合-干式真空泵
2500W 13.56MHz射频发生器，带自动射频 匹配网络
2XMKS 质量流量控制器， 0-500 cc/min，2个低气量报警器
信号灯塔
PC控制带触摸屏显示，全自动操作
可选配置特性
板载氧气发生器，不需要压缩气瓶
烟气洗涤器
水冷循环系统，用于RF和真空泵
系统特性
深6英尺X宽8英尺X高6英尺
厂务要求
三相60A
压缩空气80-100PSI
闭环循环水源