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小型自动等离子清洗机

英文名:Low cost automated plasma cleaner

品牌:PLASMA ETCH (USA)

型号:PE-25-JW

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产品介绍:

PE-25-JW是一款高质量的等离子清洗机,非常容易操作和使用,并能确保每次处理效果的一致性,重复性。该系统带自动过程能力。所有的定时时间(关闭真空泵,产生等离子,气体稳定和排气)都可以编辑进自动运行的序列。PLC键盘用于操作员进入,并将相应的序列存储起来,以确保重复性。一键式气动和开始工作序列。这是我们最低成本的等离子清洗机,用于适用于小批量生产,研究和开发实验室,测试实验室,大学等等离子清洗和表面改性应用

 

所有PLASMA ETCH等离子清洗采用电容平行板设计,是最高效等离子产生方式。PE-25拥有一个150W 50HZ射频电源,并带连续可调功率能力。系统包含一个3.5"X7"水平直接驱动型射频电极,2.5”的间隔高度。配备PLC控制系统,PE-25带一个气体通道,可选第二个气体通道。处理过程自动化,有一个铝反应腔。

特性:

l   耐用6061 T6圆形铝真空腔,尺寸5“直径X8”深

l   单个3.5”X7”水平“直接接触“ 射频电极,2.5”的腔体操作空间

l   150W, 50KHZ连续可调射频电源,提供400W选项

l   1个旋转气体流量计, 0-25毫升/分钟,带精确针阀

l   热电偶真空计 0-1Torr

l   PLC微型控制系统,键盘输入界面带字母显示。可以存储一组过程参数,用于自动过程控制。

 

电气和尺寸

反应器尺寸:14"W x 14.5"D x 18"H.

运输重量约52磅

电压:220VAC

 

 

选项

l   5 CFM 2级直驱油真空泵, 适合氧气(需用kryox泵油)

l   第二个旋转流量计用于第二种气体控制器, 0-25cc/min带精密针阀

l   100W, 13.56MHz射频发生器带自动调节

 

 

可选VENUS升级选项

 

PE-25可以提供VENUS升级选项,包括:

l   适用电脑/笔记本的控制程序

使用含有PLASMA ETCH软件的台式机/笔记本,用于自动控制系统运行,编辑工作序列,多个状态存储以及更先进的功能。

l   质量流量控制器

带一个质量流量控制器。可以配置更多的质量流量控制器。



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