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低成本小型等离子清洗机

英文名:Low Cost Plasma Cleaning System

品牌:Plasma Etch

型号:PE-50

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产品介绍:

简介Overview

PE50 是一款高性价比的等离子清洗机,提供其他竞争产品不具备的非常多的特性。 这台等离子清洗机适合小批量生产,研究和开发实验室,测试生产或是大学。系统提供防爆型矩形焊接铝合金真空腔(大小:6” 宽x 7” 深 x 4”高), 并有一个直接驱动型射频电极。

 

等离子清洗应用包括:医疗器械,太阳能电池,印刷电路板,连接器,MEMs,纳米材料,晶元产品包装,接触透镜,和很多半导体制作工程。

 

特性:

 

所有PLASMA ETCH等离子清洗采用电容平行板设计,是最高效等离子产生方式。

很多竞争对手采用玻璃/石英筒形腔体设计不能穿透真空密封容器,从而被限制为使用射频线圈绕在腔体外围的射频耦合。这是一种非常没有效率的方式,结果是功率损失,严重的低刻蚀/清洗移除效率。

等离子清洗设备的用途和灵活性,可以用与处理多种表面,并精确控制。比较湿法清洗和蚀刻工艺,等离子清洗没有危险物质和废水产生,如果有效的表面处理对产品重复性或是过程效率非常关键,等离子工艺可能是很好的选择。

PE50等离子清洗机包含部件,全部在美国生产,Plasma Etch品质保证。

PE50等离子清洗机用于移除有机或是无机污染物,改善浸润性,提升粘接强度,并去除残留物,这在非常多的产品和制作过程中都是有效的处理方式。

 

标准配置规格

焊接铝真空反应腔6” X 7” X 4”

单个 4.5” x 6” 水平电极

150 Watts @ 50 kHz 射频发生器,可以提供400W电源选项

精确针阀流量控制0-25cc/min

皮拉尼真空计0-1乇

5CFM氧气提供真空泵

存储1组过程参数

 

可选项目特性

150W @ 13.56MHz 射频发生器和自动匹配电路.

灯条

质量流量计

 

 

电气和尺寸

交流电120VAC 60 Hz @ 15 A or 220 VAC 50 Hz @ 14A

反应器运输重量55lbs

真空本运输重量 35lbs

反应器外形尺寸 14 “ X 14.5” X 18”

真空泵外形尺寸 7” x 16”

 

可选Venus升级选项

l   适用电脑/笔记本的控制程序

使用含有PLASMA ETCH软件的台式机/笔记本,用于自动控制系统运行,编辑工作序列,多个状态存储以及更先进的功能。

l   质量流量控制器

带一个质量流量控制器。可以配置更多的质量流量控制器。



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