产品介绍：
UV紫外臭氧清洗过程提供一种简单，经济，快速获得超洁净的表面，去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝*等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。
紫外臭氧清洗可以去除：
皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。
怎样说是“超”洁净？
接触角测量方法4－5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试，在冷凝和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。通常情况下，使用清洗或是超声清洗工序后，清洁关键表面认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用，产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。
紫外臭氧清洗工作原理：
UVOCS清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2,H2O等。整个过程在室温**发生，并且只需要1到几分钟完成。
*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
**注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。
关键特性:
•间歇式灯泡工作方式。灯和定时器通过关闭门来触发。
•滑行部件托盘－光滑－低震动，滚珠轴承系统－高度到1.5英寸。
•坚固耐用，全部不锈钢结构
•长寿命。低压石英水银蒸汽灯发射254nm和185nm UV，促进快速氧化，去除微量的有机残留物。
•全面UV保护让设备操作更安全。
•更低设备采购成本和操作成本。
•0-999秒/分钟/小时定时器，能够精确控制。灯和定时器通过门关闭来触发。
•臭氧排气护罩：UVOCS托盘型号有一个臭氧护罩，可以允许UVOCS清洁设备放在你的生产线或是设备，和过程相关设备放在一起。这会使得材料的再污染最小化。一个3英寸排气出口内置在护罩的后面，可以连接到你的排气系统。没有提供排气风扇。最小排气量需求为100CFM.(立方英尺/分钟)
•在操作过程结束时有蜂鸣声。
•UV "ON"指示灯和可见窗口。
•操作简单：设定定时器，打开门，抽出托盘，将元件放在托盘上。将托盘滑入并关闭门。在清洗操作过程结束有蜂鸣声。打开门，移开全部的清洗元件。
典型应用包括：
•表面的原子级清洗
•聚合物粘接
•去除有机分子
•释放捕获的无机分子
•微流控制作
•微米/纳米构型
•紫外光固化
•表面化学改性
•表面杀菌
•表面氧化
•金属粘结准备
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UVOCS紫外清洗机 | ||
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型号 |
T10x10/OES |
T16x16/OES |
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光照尺寸 |
10" x 10" （25.4×25.4cm） |
16" x 16" （40.6×40.6cm） |
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有效面积: |
100 sq. in. |
256 sq. in. |
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宽: |
14" |
20" |
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深: |
23 3/4" |
29 3/4" |
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高: |
14.5" |
14.5" |
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托盘推出深度: |
33" |
46" |
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滑行托盘: |
1 |
1 |
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结构: |
箱体和托盘为不锈钢结构 | |
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功耗: |
110Vac / 60Hz 5A Max or 230Vac / 50Hz 2.5 amp Max | |
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臭氧排气系统: |
有臭氧排气系统 | |
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排气口尺寸: |
3" 直径 | |
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排气需要: |
100cfm |
100cfm |
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定时器: |
在开始或结束时峰鸣 | |
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"ON"指示器: |
有 |
有 |
