产品介绍：
简介
PE-75是我们最大的入门级等离子清洗机，提供很多竞争产品没有的特性。
PE-75具有所有PE-50-XL的特性，反应腔尺寸会更大。 这台等离子清洗机适合小批量生产，研究和开发实验室，测试生产或是大学。用于等离子清洗和表面改性应用. 系统配置一个圆型铝真空反应腔。12” 直径 x 11” 深. 并带一个直驱型射频电极。
特性
所有PLASMA ETCH等离子清洗采用电容平行板设计，是最高效等离子产生方式。
很多竞争对手采用玻璃/石英筒形腔体设计不能穿透真空密封容器，从而被限制为使用射频线圈绕在腔体外围的射频耦合。这是一种非常没有效率的方式，结果是功率损失，严重的低刻蚀/清洗移除效率。
等离子清洗设备的用途和灵活性，可以用与处理多种表面，并精确控制。比较湿法清洗和蚀刻工艺，等离子清洗没有危险物质和废水产生，如果有效的表面处理对产品重复性或是过程效率非常关键，等离子工艺可能是很好的选择。
PE-75等离子清洗机包含部件，全部在美国生产，Plasma Etch品质保证。
PE-75等离子清洗机用于移除有机或是无机污染物，改善浸润性，提升粘接强度，并去除残留物，这在非常多的产品和制作过程中都是有效的处理方式。
技术规格
坚固耐用的圆形铝真空反应腔12” 直径 x 11” 深
单个9”W x 10”D水平直驱型射频电极，5.5“腔体有效高度。
400W, 50KHZ连续可变射频发生器电源
5CFM, 2级直驱真空泵，氧气供应（需要加Krytox油）
2 旋转流量计，2路气体控制，0-25cc/min， 带精密针阀
热电偶真空计0-1Torr
PLC微处理器控制系统
键盘输入界面带文本显示
储存1组过程参数用于自动过程序列
反应器尺寸18”W X 19”D X 24”H.
大约运输重量：反应器91lbs，真空泵35lbs。2箱。
电压120VAC, 15A.
可选Venus升级选项
l 适用电脑/笔记本的控制程序
使用含有PLASMA ETCH软件的台式机/笔记本，用于自动控制系统运行，编辑工作序列，多个状态存储以及更先进的功能。
l 质量流量控制器
带一个质量流量控制器。可以配置更多的质量流量控制器。
